Knudsen-cella

A Wikipédiából, a szabad enciklopédiából

A Knudsen-cella a mikro- és nanotechnológiában alkalmazott részecskeforrás, mellyel bizonyos preparálási eljárásokhoz szükséges részecskenyaláb hozható lére. Segítségével kis parciális gőznyomású anyagok (pl. Ga, Al, Hg, As) gőze állítható elő és alkalmazható például molekulasugaras epitaxiánál (Molecular Beam Epitaxy, MBE).[1][2]

A Knudsen-cellában a párologtatandó anyagot egy kerámiaedényben helyezik el általában szilárd halmazállapotban. A kerámiaedényt fűtőtekercs veszi körül, az eszköz ezen kívül vízhűtő rendszerrel és tokozással rendelkezik. Az MBE készülékben általában több Knudsen-cella is elhelyezésre kerül, így a rétegleválasztáskor a felületre több elem kombinációja is kerülhet. Az egyes cellák egyesével zárhatók annak megfelelően, hogy a folyamat mit kíván.

Fordítás[szerkesztés]

Ez a szócikk részben vagy egészben a Knudsen cell című angol Wikipédia-szócikk ezen változatának fordításán alapul. Az eredeti cikk szerkesztőit annak laptörténete sorolja fel.

További információk[szerkesztés]

  • K. Barnham, D. Vvedensky: Low-dimensional semiconductor structures

Jegyzetek[szerkesztés]