Knudsen-cella

A Wikipédiából, a szabad enciklopédiából

A Knudsen-cella a mikro- és nanotechnológiában alkalmazott részecskeforrás, mellyel bizonyos preparálási eljárásokhoz szükséges részecskenyalábot hozhatunk lére. Segítségével kis parciális gőznyomású anyagok (pl. Ga, Al, Hg, As) gőzét állíthatjuk elő és alkalmazhatjuk például molekulasugaras epitaxiánál (Molecular Beam Epitaxy, MBE).

A Knudsen-cellában a párologtatandó anyagot egy kerámia edényben helyezzük el általában szilárd halmazállapotban. A kerámia edényt fűtő tekercs veszi körül, az eszköz ezen kívül vízhűtő rendszerrel és tokozással rendelkezik. Az MBE készülékben általában több Knudsen cella elhelyezésre kerül, így a rétegleválasztáskor a felületre több elem kombinációja is kerülhet. Az egyes cellák egyesével zárhatók annak megfelelően, hogy a folyamat mit kíván.

Külső hivatkozás[szerkesztés | forrásszöveg szerkesztése]

  • K. Barnham, D. Vvedensky: Low-dimensional semiconductor structures