Fotolitográfia

Az elektronikában

Egy olyan elektronikai gyártási eljárás, melyet főleg a félvezetőiparban, mikroelektronikában használnak, például mikroprocesszorok gyártására. Az eljárás segítségével rendkívül kis méretű elektronikus áramkörök készíthetők: az így készült vezetők vastagsága mindössze néhány tíz nanométer; ez az úgynevezett „csíkszélesség”. Minimális csíkszélességnek nevezzük a kialakítható legkisebb alakzat méretét ez az ún. MFS (Minimal Feature Size). Az MFS kezdetekkor 15-20 μm volt, ma 0,1 μm vagy kevesebb.

Az el­járás során a félvezető felületére felvitt speciális rétegen maszkot alakítanak ki, mely fény hatására eltávolíthatóvá válik, ezáltal a félvezetőn bizonyos miniatűr struktúrát hátrahagyva. Az így kialakított maszk bizonyos részeket el­szigetel, másokat elérhetővé tesz más technológiai eljárások számára. A mikroprocesszorok gyártása során számos ilyen, néhány tized mikrométer vastag réteg kerül egymás fölé, igen bonyolult áramköri struktúrát kialakítva ezzel.

A régebbi, kisebb integráltsági fokú eszközöknél a megvilágításra egyszerű fénysugarakat használtak, mivel azonban az alkalmazott hullámhossz határt szab a kialakítható szerkezet méretének, a nano-méretekhez közelítve újabban a megvilágítást speciális optikai eszkö­zökkel, lézerrel, röntgen- illetve gammasugarakkal valamint elektron- és ionsugarakkal végzik, a minél kisebb méretek elérése érdekében. Az ezzel a módszerrel elméletileg elérhető legkisebb méret 35 nm körül van, melyet a becslések szerint (lásd még: Moore-törvény) 2014-re érnek el. Ez alatt a méret alatt technológiaváltásra lesz szükség, az új technológia várhatóan a molekuláris nanotechnológia lesz.

A nyomdászatban

A litográfia egyik változata, mely során egy papírt zselatinnal bevonnak, majd krómoznak. Ezt követően egy fotográfiai üvegnegatívon át megvilágítják és zsíros festékkel behengerelik. A langyos vízben történő előhívás során, a festék csak azokon a helyeken marad meg, melyeket fény ért. Az így előhívott képet azután litográfiai kőre, cinkre vagy alumíniumra nyomtatják.

Forrás

• Magyar Virtuális Enciklopédia